Low energy ion implantation simulation using a modified binary collision approximation code
- Arias, J.
- Jaraiz, M.
- Pelaz, L.
- Bailón, L.A.
- Barbolla, J.
ISSN: 0168-583X
Datum der Publikation: 1995
Ausgabe: 102
Nummer: 1-4
Seiten: 228-231
Art: Artikel