Molecular dynamics study of the fluence dependence of Si sputtering by 1 keV Ar+ ions
- Rubio, J.E.
- Marqués, L.A.
- Pelaz, L.
- Jaraíz, M.
- Barbolla, J.
ISSN: 0168-583X
Datum der Publikation: 1996
Ausgabe: 112
Nummer: 1-4
Seiten: 156-159
Art: Artikel
ISSN: 0168-583X
Datum der Publikation: 1996
Ausgabe: 112
Nummer: 1-4
Seiten: 156-159
Art: Artikel