Molecular dynamics study of the fluence dependence of Si sputtering by 1 keV Ar+ ions
- Rubio, J.E.
- Marqués, L.A.
- Pelaz, L.
- Jaraíz, M.
- Barbolla, J.
ISSN: 0168-583X
Ano de publicación: 1996
Volume: 112
Número: 1-4
Páxinas: 156-159
Tipo: Artigo
ISSN: 0168-583X
Ano de publicación: 1996
Volume: 112
Número: 1-4
Páxinas: 156-159
Tipo: Artigo