Dose effects on amorphous silicon sputtering by argon ions: A molecular dynamics simulation
- Marqués, L.A.
- Rubio, J.E.
- Jaraíz, M.
- Bailón, L.A.
- Barbolla, J.J.
ISSN: 0021-8979
Año de publicación: 1997
Volumen: 81
Número: 3
Páginas: 1488-1494
Tipo: Artículo