Activation and deactivation of implanted B in Si
- Pelaz, L.
- Venezia, V.C.
- Gossmann, H.-J.
- Gilmer, G.H.
- Fiory, A.T.
- Rafferty, C.S.
- Jaraiz, M.
- Barbolla, J.
ISSN: 0003-6951
Any de publicació: 1999
Volum: 75
Número: 5
Pàgines: 662-664
Tipus: Article