Electrical characterization of a He ion implantation-induced deep level existing in p+n InP junctions
- Quintanilla, L.
- Pinacho, R.
- Enríquez, L.
- Peláez, R.
- Dueñas, S.
- Castán, E.
- Bailón, L.
- Barbolla, J.
ISSN: 0021-8979
Año de publicación: 1999
Volumen: 85
Número: 11
Páginas: 7978-7980
Tipo: Artículo