Molecular dynamics characterization of as-implanted damage in silicon

  1. Santos, I.
  2. Marqués, L.A.
  3. Pelaz, L.
  4. López, P.
  5. Aboy, M.
  6. Barbolla, J.
Revista:
Materials Science and Engineering B: Solid-State Materials for Advanced Technology

ISSN: 0921-5107

Año de publicación: 2005

Volumen: 124-125

Número: SUPPL.

Páginas: 372-375

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.1016/J.MSEB.2005.08.017 GOOGLE SCHOLAR