Molecular dynamics characterization of as-implanted damage in silicon
- Santos, I.
- Marqués, L.A.
- Pelaz, L.
- López, P.
- Aboy, M.
- Barbolla, J.
ISSN: 0921-5107
Año de publicación: 2005
Volumen: 124-125
Número: SUPPL.
Páginas: 372-375
Tipo: Aportación congreso