Electrical characterization of high-pressure reactive sputtered ScO x films on silicon
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- Bailón, L.
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- Toledano-Luque, M.
- Del Prado, A.
- San Andrés, E.
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ISSN: 0040-6090
Año de publicación: 2011
Volumen: 519
Número: 7
Páginas: 2268-2272
Tipo: Artículo