Electrical characterization of MIS capacitors fabricated from ECR-PECVD silicon oxide and silicon nitride bilayer films
- Castán, H.
- Dueñas, S.
- Barbolla, J.
- San Andrés, E.
- Del Prado, A.
- Mártil, I.
- González-Díaz, G.
ISSN: 0957-4522
Datum der Publikation: 2003
Ausgabe: 14
Nummer: 5-7
Seiten: 287-290
Art: Artikel