A comparative study of the electrical properties of TiO2 films grown by high-pressure reactive sputtering and atomic layer deposition
- Duẽas, S.
- Castán, H.
- García, H.
- Andrés, E.S.
- Toledano-Luque, M.
- Mártil, I.
- González-Díaz, G.
- Kukli, K.
- Uustare, T.
- Aarik, J.
ISSN: 0268-1242
Año de publicación: 2005
Volumen: 20
Número: 10
Páginas: 1044-1051
Tipo: Artículo