Ion-beam processing of silicon at keV energies: A molecular-dynamics study

  1. Caturla, M.
  2. Díaz de la Rubia, T.
  3. Marqués, L.
  4. Gilmer, G.
Revista:
Physical Review B - Condensed Matter and Materials Physics

ISSN: 1550-235X,  1098-0121

Año de publicación: 1996

Volumen: 54

Número: 23

Páginas: 16683-16695

Tipo: Artículo

DOI: 10.1103/PHYSREVB.54.16683 GOOGLE SCHOLAR

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