Detailed computer simulation of ion implantation processes into crystals
- Arias, J.
- Jaraiz, M.
- Rubio, J.E.
- Pelaz, L.
- Marqués, L.A.
- Barbolla, J.
ISSN: 1743-2847, 0267-0836
Datum der Publikation: 1995
Ausgabe: 11
Nummer: 11
Seiten: 1191-1193
Art: Artikel