Improved binary collision approximation ion implant simulators
- Hernández-Mangas, J.M.
- Arias, J.
- Bailón, L.
- Jaraíz, M.
- Barbolla, J.
ISSN: 0021-8979
Année de publication: 2002
Volumen: 91
Número: 2
Pages: 658-667
Type: Article
ISSN: 0021-8979
Année de publication: 2002
Volumen: 91
Número: 2
Pages: 658-667
Type: Article