Enhanced low temperature electrical activation of B in Si
- Kalyanaraman, R.
- Venezia, V.C.
- Pelaz, L.
- Haynes, T.E.
- Gossmann, H.-J.L.
- Rafferty, C.S.
ISSN: 0003-6951
Datum der Publikation: 2003
Ausgabe: 82
Nummer: 2
Seiten: 215-217
Art: Artikel
ISSN: 0003-6951
Datum der Publikation: 2003
Ausgabe: 82
Nummer: 2
Seiten: 215-217
Art: Artikel