Morphology of as-implanted damage in silicon: A molecular dynamics study

  1. Santos, I.
  2. Marqués, L.A.
  3. Pelaz, L.
  4. Aboy, M.
  5. López, P.
  6. Barbolla, J.
Konferenzberichte:
2005 Spanish Conference on Electron Devices, Proceedings

ISBN: 9780780388109

Datum der Publikation: 2005

Ausgabe: 2005

Seiten: 447-450

Art: Konferenz-Beitrag

DOI: 10.1109/SCED.2005.1504478 GOOGLE SCHOLAR