Physical insight into boron activation and redistribution during annealing after low-temperature solid phase epitaxial regrowth

  1. Aboy, M.
  2. Pelaz, L.
  3. López, P.
  4. Marqús, L.A.
  5. Duffy, R.
  6. Venezia, V.C.
Revista:
Applied Physics Letters

ISSN: 0003-6951

Any de publicació: 2006

Volum: 88

Número: 19

Tipus: Article

DOI: 10.1063/1.2203334 GOOGLE SCHOLAR

Objectius de Desenvolupament Sostenible