Fluorine profile distortion upon annealing by the presence of a CVD grown boron box

  1. López, P.
  2. Pelaz, L.
  3. Duffy, R.
  4. Meunier-Beillard, P.
  5. Van Der Tak, K.
  6. Roozeboom, F.
  7. Maas, G.
Actes:
AIP Conference Proceedings

ISSN: 1551-7616,  0094-243X

ISBN: 9780735403659

Any de publicació: 2006

Volum: 866

Pàgines: 29-32

Tipus: Aportació congrés

DOI: 10.1063/1.2401454 GOOGLE SCHOLAR