Study of atomic layer deposited gadolinium oxide thin films on silicon

1. Dueñias, S.
2. Castán, H.
3. García, H.
4. Gómez, A.
5. Bállon, L.
6. Kukli, K.
7. Hantapää, T.
8. Lu, J.
9. Ritala, M.
10. Leskela, M.