Electrical properties of atomic-layer-deposited thin gadolinium oxide high- k gate dielectrics

1. Dueñas, S.
2. Castán, H.
3. García, H.
4. Gómez, A.
5. Bailón, L.
6. Kukli, K.
7. Hatanpää, T.
8. Lu, J.
9. Ritala, M.
10. Leskelä, M.