Atomistic modeling of impurity ion implantation in ultra-thin-body Si devices

1. Pelaz, L.
2. Duffy, R.
3. Aboy, M.
4. Marques, L.
5. Lopez, P.
6. Santos, I.
7. Pawlak, B.J.
8. Van Dal, M.J.H.
9. Duriez, B.
10. Merelle, T.
11. Doornbos, G.
12. Collaert, N.
13. Witters, L.
14. Rooyackers, R.
15. Vandervorst, W.
16. Jurczak, M.
17. Kaiser, M.
18. Weemaes, R.G.R.
19. Van Berkum, J.G.M.
20. Breimer, P.
21. Lander, R.J.P.