The role of implanter parameters on implant damage generation: An atomistic simulation study
- Singer, J.
- Jaraiz, M.
- Castrillo, P.
- Laviron, C.
- Cagnat, N.
- Wacquant, F.
- Cueto, O.
- Poncet, A.
ISSN: 1551-7616, 0094-243X
ISBN: 9780735405974
Datum der Publikation: 2008
Ausgabe: 1066
Seiten: 209-212
Art: Konferenz-Beitrag