F+ implants in crystalline Si: The Si interstitial contribution
- Lopez, P.
- Pelaz, L.
- Duffy, R.
- Meunier-Beillard, P.
- Roozeboom, F.
- Van Der Tak, K.
- Breimer, P.
- Van Berkum, J.G.M.
- Verheijen, M.A.
- Kaiser, M.
ISSN: 0272-9172
ISBN: 9781605110400
Datum der Publikation: 2008
Ausgabe: 1070
Seiten: 279-284
Art: Konferenz-Beitrag