F+ implants in crystalline Si: The Si interstitial contribution

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Konferenzberichte:
Materials Research Society Symposium Proceedings

ISSN: 0272-9172

ISBN: 9781605110400

Datum der Publikation: 2008

Ausgabe: 1070

Seiten: 279-284

Art: Konferenz-Beitrag

DOI: 10.1557/PROC-1070-E06-07 GOOGLE SCHOLAR