Kinetics of large B clusters in crystalline and preamorphized silicon

  1. Aboy, M.
  2. Pelaz, L.
  3. Bruno, E.
  4. Mirabella, S.
  5. Boninelli, S.
Zeitschrift:
Journal of Applied Physics

ISSN: 0021-8979

Datum der Publikation: 2011

Ausgabe: 110

Nummer: 7

Art: Artikel

DOI: 10.1063/1.3639280 GOOGLE SCHOLAR lock_openUVADOC editor

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