Simulation of defects and diffusion phenomena in silicon

  1. Law, M.E.
  2. Gilmer, G.H.
  3. Jaraíz, M.
Revue:
MRS Bulletin

ISSN: 0883-7694

Année de publication: 2000

Volumen: 25

Número: 6

Pages: 45-50

Type: Article

DOI: 10.1557/MRS2000.98 GOOGLE SCHOLAR

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