Defects from implantation in silicon by linked Marlow-molecular dynamics calculations

  1. Jaraiz, M.
  2. Gilmer, G.H.
  3. Stock, D.M.
  4. Diaz de la Rubia, T.
Revista:
Nuclear Inst. and Methods in Physics Research, B

ISSN: 0168-583X

Any de publicació: 1995

Volum: 102

Número: 1-4

Pàgines: 180-182

Tipus: Article

DOI: 10.1016/0168-583X(95)80138-C GOOGLE SCHOLAR

Objectius de Desenvolupament Sostenible