In depth resolved analysis of SIMOX materials by optical characterization techniques
- Perez-Rodriguez, A.
- Martin, E.
- Samitier, J.
- Jimenez, J.
- Morante, J.R.
- Hemment, P.L.F.
- Homewood, K.P.
Konferenzberichte:
1991 IEEE International SOI Conference Proceedings
ISBN: 0780301846
Datum der Publikation: 1992
Seiten: 110-111
Art: Konferenz-Beitrag