In depth resolved analysis of SIMOX materials by optical characterization techniques

  1. Perez-Rodriguez, A.
  2. Martin, E.
  3. Samitier, J.
  4. Jimenez, J.
  5. Morante, J.R.
  6. Hemment, P.L.F.
  7. Homewood, K.P.
Konferenzberichte:
1991 IEEE International SOI Conference Proceedings

ISBN: 0780301846

Datum der Publikation: 1992

Seiten: 110-111

Art: Konferenz-Beitrag