Continuum treatment of spatial correlation in damage annealing

  1. Hobler, G.
  2. Pelaz, L.
  3. Rafferty, C.S.
Zeitschrift:
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms

ISSN: 0168-583X

Datum der Publikation: 1999

Ausgabe: 153

Nummer: 1-4

Seiten: 172-176

Art: Artikel

DOI: 10.1016/S0168-583X(99)00045-2 GOOGLE SCHOLAR