Oxygen incorporation and charge donor activation via subplantation during growth of indium tin oxide films

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Revista:
Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films

ISSN: 0734-2101

Año de publicación: 2009

Volumen: 27

Número: 2

Páginas: 362-366

Tipo: Artículo

DOI: 10.1116/1.3081970 GOOGLE SCHOLAR