Grupo de Espectroscopía de Plasmas y Chorros Supersónicos
New Jersey Institute of Technology
Newark, Estados UnidosNew Jersey Institute of Technology-ko ikertzaileekin lankidetzan egindako argitalpenak (1)
1997
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B diffusion and clustering in ion implanted Si: The role of B cluster precursors
Applied Physics Letters, Vol. 70, Núm. 17, pp. 2285-2287