![Foto de Emilio](/img/nophoto.png)
Emilio
Lora-Tamayo D'Ocón
Publikationen, an denen er mitarbeitet Emilio Lora-Tamayo D'Ocón (1)
1992
-
A study of metal-oxide-semiconductor capacitors fabricated on SF 6 and SF6+Cl2 reactive-ion-etched Si
Journal of Applied Physics, Vol. 71, Núm. 6, pp. 2710-2716