APARATO Y PROCEDIMIENTO PARA LA REALIZACIÓN DE GRIETAS CONTROLADAS EN MUESTRAS DE SILICIO MONOCRISTALINO Y MULTICRISTALINO

Laburpena

El aparato comprende una estructura (1) vinculada a un primer conjunto guía-patín (2) dispuesto en una dirección X, un segundo conjunto guía-patín (3) dispuesto en una dirección Y perpendicular a X, y un tercer conjunto guía-patín (4) dispuesto en una dirección Z perpendicular a X, Y que determinan la posición de la muestra respecto a una herramienta con punta de diamante (6). Dispone de una base giratoria que determina la dirección de la grieta; y de una base para muestras (5) unida a la base giratoria y sobre la que se coloca la muestra. Un elemento de control de altura (7) de precisión micrométrica está unido a una herramienta con punta de diamante (6) encargada de rayar la muestra a una determinada profundidad. Se describe también un procedimiento de realización de grietas controladas.