Effect of interlayer trapping and detrapping on the determination of interface state densities on high-k dielectric stacks

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Zeitschrift:
Journal of Applied Physics

ISSN: 0021-8979

Datum der Publikation: 2010

Ausgabe: 107

Nummer: 11

Art: Artikel

DOI: 10.1063/1.3391181 GOOGLE SCHOLAR