Detailed computer simulation of ion implantation processes into crystals
- Arias, J.
- Jaraiz, M.
- Rubio, J.E.
- Pelaz, L.
- Marqués, L.A.
- Barbolla, J.
ISSN: 1743-2847, 0267-0836
Año de publicación: 1995
Volumen: 11
Número: 11
Páginas: 1191-1193
Tipo: Artículo