Low energy ion implantation simulation using a modified binary collision approximation code
- Arias, J.
- Jaraiz, M.
- Pelaz, L.
- Bailón, L.A.
- Barbolla, J.
ISSN: 0168-583X
Año de publicación: 1995
Volumen: 102
Número: 1-4
Páginas: 228-231
Tipo: Artículo