Electrical characterization of He-ion implantation-induced deep levels in p+n InP junctions
- Quintanilla, L.
- Pinacho, R.
- Enríquez, L.
- Peláez, R.
- Dueñas, S.
- Castán, E.
- Bailón, L.
- Barbolla, J.
ISSN: 0021-8979
Année de publication: 1999
Volumen: 86
Número: 9
Pages: 4855-4860
Type: Article