Modeling of the effects of dose, dose rate, and implant temperature on transient enhanced diffusion

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Zeitschrift:
Applied Physics Letters

ISSN: 0003-6951

Datum der Publikation: 1999

Ausgabe: 74

Nummer: 14

Seiten: 2017-2019

Art: Artikel

DOI: 10.1063/1.123742 GOOGLE SCHOLAR