Use of anodic tantalum pentoxide for high-density capacitor fabrication

  1. Dueñas, S.
  2. Castán, E.
  3. Barbolla, J.
  4. Kola, R.R.
  5. Sullivan, P.A.
Zeitschrift:
Journal of Materials Science: Materials in Electronics

ISSN: 0957-4522

Datum der Publikation: 1999

Ausgabe: 10

Nummer: 5

Seiten: 379-384

Art: Artikel

DOI: 10.1023/A:1008901624514 GOOGLE SCHOLAR