Electrical characteristics of anodic tantalum pentoxide thin films under thermal stress
- Dueñas, S.
- Castán, H.
- Barbolla, J.
- Kola, R.R.
- Sullivan, P.A.
ISSN: 0026-2714
Año de publicación: 2000
Volumen: 40
Número: 4-5
Páginas: 659-662
Tipo: Artículo
Revista:
Microelectronics Reliability