Atomistic modeling of complex silicon processing scenarios

  1. Jaraiz, M.
  2. Castrillo, P.
  3. Pinacho, R.
  4. Pelaz, L.
  5. Barbolla, J.
  6. Gilmer, G.H.
  7. Rafferty, C.S.
Konferenzberichte:
Materials Research Society Symposium - Proceedings

ISSN: 0272-9172

Datum der Publikation: 2000

Ausgabe: 610

Art: Konferenz-Beitrag

DOI: 10.1557/PROC-610-B11.1 GOOGLE SCHOLAR

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