Tantalum pentoxide obtained from TaNx and TaSi2 anodisation: An inexpensive and thermally stable high k dielectric
- Dueñas, S.
- Castán, E.
- Barbolla, J.
- Kola, R.R.
- Sullivan, P.A.
ISSN: 0038-1101
Datum der Publikation: 2001
Ausgabe: 45
Nummer: 8
Seiten: 1441-1450
Art: Artikel