Tantalum pentoxide obtained from TaNx and TaSi2 anodisation: An inexpensive and thermally stable high k dielectric

  1. Dueñas, S.
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  5. Sullivan, P.A.
Zeitschrift:
Solid-State Electronics

ISSN: 0038-1101

Datum der Publikation: 2001

Ausgabe: 45

Nummer: 8

Seiten: 1441-1450

Art: Artikel

DOI: 10.1016/S0038-1101(01)00125-3 GOOGLE SCHOLAR