Algorithm for statistical noise reduction in three-dimensional ion implant simulations
- Hernández-Mangas, J.M.
- Arias, J.
- Jaraiz, M.
- Bailón, L.
- Barbolla, J.
ISSN: 0168-583X
Datum der Publikation: 2001
Ausgabe: 174
Nummer: 4
Seiten: 433-438
Art: Artikel