Atomistic modeling of defect evolution in Si for amorphizing and subamorphizing implants

  1. Lopez, P.
  2. Pelaz, L.
  3. Marqués, L.A.
  4. Santos, I.
  5. Aboy, M.
  6. Barbolla, J.
Zeitschrift:
Materials Science and Engineering B: Solid-State Materials for Advanced Technology

ISSN: 0921-5107

Datum der Publikation: 2004

Ausgabe: 114-115

Nummer: SPEC. ISS.

Seiten: 82-87

Art: Konferenz-Beitrag

DOI: 10.1016/J.MSEB.2004.07.040 GOOGLE SCHOLAR