Atomistic modeling of ion beam induced amorphization in silicon
- Pelaz, L.
- Marqués, L.A.
- López, P.
- Santos, I.
- Aboy, M.
- Barbolla, J.
ISSN: 0168-583X
Datum der Publikation: 2005
Ausgabe: 241
Nummer: 1-4
Seiten: 501-505
Art: Konferenz-Beitrag
ISSN: 0168-583X
Datum der Publikation: 2005
Ausgabe: 241
Nummer: 1-4
Seiten: 501-505
Art: Konferenz-Beitrag