Atomistic modeling of impurity ion implantation in ultra-thin-body Si devices

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Actas:
Technical Digest - International Electron Devices Meeting, IEDM

ISSN: 0163-1918

ISBN: 9781424423781

Año de publicación: 2008

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.1109/IEDM.2008.4796744 GOOGLE SCHOLAR

Objetivos de desarrollo sostenible