Atomistic modeling of impurity ion implantation in ultra-thin-body Si devices
- Pelaz, L.
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- Aboy, M.
- Marques, L.
- Lopez, P.
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- Pawlak, B.J.
- Van Dal, M.J.H.
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- Vandervorst, W.
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- Weemaes, R.G.R.
- Van Berkum, J.G.M.
- Breimer, P.
- Lander, R.J.P.
Actas:
Technical Digest - International Electron Devices Meeting, IEDM
ISSN: 0163-1918
ISBN: 9781424423781
Año de publicación: 2008
Tipo: Aportación congreso