Influence of precursor chemistry and growth temperature on the electrical properties of SrTiO3 -based metal-insulator-metal capacitors grown by atomic layer deposition

1. García, H.
2. Castán, H.
3. Gómez, A.
4. Dueñas, S.
5. Bailón, L.
6. Kukli, K.
7. Kariniemi, M.
8. Kemell, M.
9. Niinistö, J.
10. Ritala, M.
11. Leskelä, M.