Atomic layer deposited nanolaminates of zirconium oxide and manganese oxide from manganese(III)acetylacetonate and ozone

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Zeitschrift:
Nanotechnology

ISSN: 1361-6528,  0957-4484

Datum der Publikation: 2021

Ausgabe: 32

Nummer: 33

Art: Artikel

DOI: 10.1088/1361-6528/ABFEE9 GOOGLE SCHOLAR lock_openOpen Access editor