Atomic layer deposited nanolaminates of zirconium oxide and manganese oxide from manganese(III)acetylacetonate and ozone

  1. Kalam, K.
  2. Rammula, R.
  3. Ritslaid, P.
  4. Käämbre, T.
  5. Link, J.
  6. Stern, R.
  7. Vinuesa, G.
  8. Duenas, S.
  9. Castán, H.
  10. Tamm, A.
  11. Kukli, K.
Revista:
Nanotechnology

ISSN: 1361-6528,  0957-4484

Ano de publicación: 2021

Volume: 32

Número: 33

Tipo: Artigo

DOI: 10.1088/1361-6528/ABFEE9 GOOGLE SCHOLAR lock_openAcceso aberto editor