Atomic layer deposition and characterization of dysprosium-doped zirconium oxide thin films

  1. Tamm, A.
  2. Kozlova, J.
  3. Arroval, T.
  4. Aarik, L.
  5. Ritslaid, P.
  6. García, H.
  7. Castán, H.
  8. Dueñas, S.
  9. Kukli, K.
  10. Aarik, J.
Revista:
Chemical Vapor Deposition

ISSN: 1521-3862,  0948-1907

Any de publicació: 2015

Volum: 21

Número: 7-9

Pàgines: 181-187

Tipus: Article

DOI: 10.1002/CVDE.201507170 GOOGLE SCHOLAR

Objectius de Desenvolupament Sostenible