Grupo de Espectroscopía de Plasmas y Chorros Supersónicos
Universitat d'Alacant
Alicante, EspañaPublikationen in Zusammenarbeit mit Forschern von Universitat d'Alacant (1)
2018
-
Kinetic Monte Carlo simulation for semiconductor processing: A review
Progress in Materials Science, Vol. 92, pp. 1-32