Grupo de Espectroscopía de Plasmas y Chorros Supersónicos
Universitat d'Alacant
Alicante, EspañaPublicacións en colaboración con investigadores/as de Universitat d'Alacant (1)
2018
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Kinetic Monte Carlo simulation for semiconductor processing: A review
Progress in Materials Science, Vol. 92, pp. 1-32